规格型号 | FS1M-10N | FS1M-10N-S | 公差 |
运动自由度 | Z | Z |
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传感器类型 | - | Strain Gage |
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标称行程范围1(@0~+120V) | 200 μm | 200 μm | ±10% |
最大行程范围(@-20~+150V) | 240 μm | 240 μm | ±20% |
分辨率2 | 0.4 nm | 7 nm | typ. |
线性度 | - | 0.02%F.S | typ. |
重复定位精度 | - | 0.02% | typ. |
承载能力3 | 10 N | 10 N | Max. |
谐振频率(0g) | 1000 Hz | 1000 Hz | ±20% |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 |
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工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度4 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | - | - |
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外形尺寸(长×宽×高) | 96 × 68 × 50.1mm | 96 × 68 × 50.1mm |
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重量5 | 1888 g | 1888 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO |
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本体材质 | 钢 | 钢 |
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推荐控制器 | PCS210S、PCS211S、PCM320S、PCM321S |
注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)及16Bit控制器测得的数据。尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。欲了解更多信息,请与我们联系。
1.最大驱动电压为0~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V。
2. 分辨率为指实际最小移动步长,通过激光干涉仪测得的实际数据。
3.更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
4.更长的线缆长度请咨询。
5.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
