压电偏摆镜 ∣ PT3V20-250S
产品特点：通光孔径为10毫米，三脚压电陶瓷驱动，线性行程达12微米（移相器），亚微秒级响应时间，亚纳弧度级分辨率。
- 运动方向： Z+θxθy轴
- 标称行程： （Z）12μm、（θxθy）1.2mrad
- 外形尺寸： Φ30 × 28.5mm
- 中空尺寸： Φ10mm
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13162165677规格型号1 | PT3V20-250S | 公差8 |
运动轴 | Z+θxθy | - |
集成传感器 | - | - |
标称行程范围2（@0~+120V） | （Z）12μm、（θxθy）1.2mrad | ±20% |
最大行程范围2（@-20~+150V） | （Z）15μm、（θxθy）1.5mrad | ±20% |
分辨率3 | （Z）0.2 nm、（θxθy）0.05μrad | typ. |
最小移动步长4 | （Z）0.4 nm、（θxθy）0.1μrad | typ. |
线性误差 | - | typ. |
重复定位精度 | - | typ. |
角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转） | ＜5μrad | typ. |
承载能力5 | 5N | Max. |
谐振频率 | 5500 Hz | ±20% |
运动方向刚性 | 10N | ±20% |
驱动机构 | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | Φ 10 mm | - |
外形尺寸（长×宽×高） | Φ30 × 28.5mm | - |
重量7 | 61 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | - |
本体材质 | 钢 | - |
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS（1σ）值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下，参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。
