PM6H60-S
产品应用：光纤光路调整，精密定位等领域
- 运动方向： X、Y、Z、θx、θy、θz
- 标称行程： 15x15x15μm，1x1x1mrad
- 外形尺寸： 60x60x50mm
- 承载能力： 500g
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13162165677产品型号 | PM6H60 | PM6H60-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | X、Y、Z、θx、θy、θz | X、Y、Z、θx、θy、θz | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | （XYZ）15 μm/轴、（θxθyθz）1 mrad/轴 | （XYZ）15 μm/轴、（θxθyθz）1 mrad/轴 | ±10% | - | |
最大行程范围（@-20~+150V） | （XYZ）20 μm/轴、（θxθyθz）1 .5 mrad/轴 | （XYZ）20 μm/轴、（θxθyθz）1 .5 mrad/轴 | ±20% | - | |
分辨率 | （XYZ）0.5 nm / 轴、（θxθyθz）0.03 μrad/轴 | （XYZ）0.5 nm / 轴、（θxθyθz）0.03 μrad/轴 | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.15% F.S. / 轴 | typ. | - | |
线性度 | - | 0.2% / 轴 | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 1 ms / 轴 | 5 ms / 轴 | typ. | Note 2 | |
加载阶跃时间@500g | 1 ms / 轴 | 20 ms / 轴 | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 5 N | 5 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | （XYZ）2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz； （θxθyθz）3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz； | （XYZ）2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz； （θxθyθz）3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz； | ±20% | Note 3 |
500g | （XYZ）170 Hz、170 Hz、530 Hz； （θxθyθz）135 Hz、135 Hz、300 Hz； | （XYZ）170 Hz、170 Hz、530 Hz； （θxθyθz）135 Hz、135 Hz、300 Hz； | |||
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m / 轴 | 1.5 m / 轴 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 60 × 60 × 50 mm | 60 × 60 × 50 mm | - | - | |
重量 | 420 g | 420 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - | - | |
Note：
1. 指实际分辨率，为PCM961S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。（另，驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率，因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。）。
2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。
3. 为压电纳米定位系统共振频率，使用时应避开此频率，建议在负载对应的谐振频率80%下使用。
4. 线缆长度可定制。
5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。
6. 可定制连接器型号。
注：以上规格参数基于实验室环境测得。
