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13162165677▶ 测量原理
NMT-C (电容式非接触位移传感器)是基于理想平板电容原理设计研发的，被测物体与传感器各自作为一个平板电极。给传感器一个持续稳定的交流电，交流电压的振幅变化与电容到被测物体之间的距离成正比。交流电经过解调，可以输出为模拟量信号。NMT-C 测量系统，分析平板电容的阻抗值， 该阻抗值与电容到被测物体的距离成正比关系。
▶ 电容式探头的使用
如果测量任务要求极高的精度水平，电容式传感器是最佳选择之一。电容式测量原理的精度，在诸多非接触式位移测量原理中名列前茅。电容式测量原理需要清洁的工作环境，避免介电常数ε的变化影响测量结果。电容式探头可以测量所有导电材料。如果在真空环境下和洁净室内使用，传感器和电缆被证明可以在洁净室和真空环境下使用。如果需要，极低的气体泄漏量使探头可以在超真空环境(UHV)下使用。电容式测量系统，配备了独特的主动降噪电缆和主动电场屏蔽环电容。测量信号的超高质量源于双层屏蔽结构。测量系统拥有几乎完美的电气保护，使高精度测量成为可能。除此以外，电场屏蔽环电极为需要超高稳定性，抗干扰以及精确的测量任务提供了一个完全均匀稳定的测量电场。
规格型号 | NMT-C1 | NMT-C1.OEM | NMT-C3 |
通道数量 | 1 | 1 | 3 |
量程范围 | 200 μm | 200 μm | 200 μm |
传感器类型 | capacitive | capacitive | capacitive |
线性度 | ±0.1 µm | ±0.1 µm | ±0.1 µm |
静态分辨率 | 0.0025 µm | 0.0025 µm | 0.0025 µm |
动态分辨率（1Khz） | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm |
传感器直径 | 10 mm | 10 mm | 10 mm |
最小目标直径 | 10 mm | 10 mm | 10 mm |
静态重复性 | 0.005 µm | 0.005 µm | 0.005 µm |
信号温度稳定性 | ≤0.005 % FSO/°C | ≤0.005 % FSO/°C | ≤0.005 % FSO/°C |
灵敏度 | 50 mV/µm | 50 mV/µm | 50 mV/µm |
带宽（-3db） | 2KHz | 2KHz | 2KHz |
长期稳定性 | ≤0.04 % FSO/月 | ≤0.04 % FSO/月 | ≤0.04 % FSO/月 |
传感器线缆长度 | 1.6 m | 1.6 m | 1.6 m |
传感器输出接口 | BNC | 欧式连接器端子 | SMB |
传感器输出电压 | 0~+10VDC（测量范围内） | 0~+10VDC（测量范围内） | 0~+10VDC（测量范围内） |
输出噪声 | 3mVpp | - | 3mVpp |
工作温度范围 | +10~+50 | +10~+50 | +10~+50 |
显示范围 | -20V~+20V | - | - |
工作电压 | 220VAC 50Hz±10% | ±15 VDC/±50 mA | 220VAC 50Hz±10% |
外形尺寸 | 105×200×55mm | 35×130×180mm | 3U-9.5“ |
传感器连接器 | OUDU | OUDU | OUDU |
重量 | 520g | 400g | 2kg |
典型应用
安装方式
