压电促动器 ∣ Φ25mm系列
应用领域: 计量、干涉、主动和适应光学、减震抑震、精密机械和机械加工。产品可提供开环或闭环带反馈的版本。
- 运动方向: X / Z
- 标称行程: 19 ~ 190 μm
- 分辨率: 亚纳米级
- 标称出力: 7300 N
咨询服务热线:
13162165677应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用领域: 计量、干涉、主动和适应光学、减震抑震、精密机械和机械加工。产品可提供开环或闭环带反馈的版本。
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13162165677规格型号 | 标称行程 μm±10% | 驱动电压 Max. V | 外壳长度L mm±0.03 | 谐振频率 @0g. Hz | 轴向刚度 N/μm | 静电容量 μF±20% | 轴向负载 Max. N | 轴向拉力 Max. N |
PAL 20 VS25 | 19 | 0...+150 | 37 | 28K | 500 | 11 | 7300 | 1000 |
PAL 40 VS25 | 38 | 0...+150 | 55 | 18K | 250 | 22 | 7300 | 1000 |
PAL 60 VS25 | 57 | 0...+150 | 77 | 13K | 160 | 33 | 7300 | 1000 |
PAL 80 VS25 | 76 | 0...+150 | 97 | 11K | 100 | 44 | 7300 | 1000 |
PAL 100 VS25 | 95 | 0...+150 | 117 | 9K | 80 | 55 | 7300 | 1000 |
PAL 120 VS25 | 114 | 0...+150 | 137 | 7K | 65 | 66 | 7300 | 1000 |
PAL 140 VS25 | 133 | 0...+150 | 157 | 6K | 55 | 77 | 7300 | 1000 |
PAL 160 VS25 | 152 | 0...+150 | 177 | 5K | 50 | 88 | 7300 | 1000 |
PAL 180 VS25 | 171 | 0...+150 | 197 | 4K | 45 | 100 | 7300 | 1000 |
PAL 200 VS25 | 190 | 0...+150 | 217 | 3K | 40 | 110 | 7300 | 1000 |
PAL > 200 VS25 | > 200 | 请咨询销售工程师。 |
注:1.最大驱动电压为0~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V。
2.内置闭环(SGS) 位置反馈系统版本的线性度为0.1%F.S.,重复定位精度为0.05%F.S.。
3.电压连接:LEMO FFA.00.250同轴电缆RG 178,标称长度1.5米。(可选BNC连接器)
4.工作温度范围:-20~+80°C。
5.外壳及运动端材料:不锈钢。
6.所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
7.欲了解更多信息,请与我们联系。
移动端可替换装置
更换用的移动顶端,用于封装压电促动器,这些驱动器顶端提供了额外的机械接口,转接由耐用的不锈钢精密加工而成,精度高,寿命长。
提供外螺纹端转平面端、外螺纹端转球面端、内螺纹端转平面端、内螺纹端转球面端
材质:不锈钢