压电扫描台 ∣ PK1L60-160U
应用领域：显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选
- 运动方向： X 轴
- 标称行程： 160 μm（闭环）
- 外形尺寸： 60×60×24 mm
- 中空尺寸： Ø25mm
- 承载能力： 5N
- 结构形式： 机构放大式
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13162165677产品型号 | PK1L60-160U | PK1L60-160U-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | X | X | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 160 μm | 160 μm | ±10% | - | |
最大行程范围（@-20~+150V） | 220 μm | 220 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 6 nm | 6 nm | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
线性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 3 ms | 20ms | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 5 N | 5 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | 240 Hz | 240 Hz | ±20% | Note 3 |
谐振频率 | 200g | 120 Hz | 120 Hz | ±20% | - |
运动方向刚度 | 0.3 N/μm | 0.3 N/μm | ±20% | - | |
运动方向推力/拉力 | 60N / 7N | 60N / 7N | ±20% | - | |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸 | Ø25mm | Ø25mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | - | |
重量 | 280 g | 280 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - | - | |
Note：尾缀带“S”的为闭环，尾缀为空为开环。
1. 指实际分辨率，为PCS211S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。（另，驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率，因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCS211S压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp，则对应的压电平台的分辨率约为2.6nm）。
2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。
3. 为压电纳米定位系统共振频率，使用时应避开此频率，建议在负载对应的谐振频率80%下使用。
4. 线缆长度可定制。
5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。
6. 可定制连接器型号。
注：以上规格参数基于实验室环境测得。
