采用压电陶瓷驱动的Z向压电纳米定位扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
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13062620377规格型号 | PKVL150-150U | PKVL150-150U-S | 公差 |
运动自由度 | Z | Z | |
传感器类型 | - | Strain Gage | |
标称行程范围1（@0~+120V） | 150 μm | 150 μm | ±1% |
最大行程范围（@-20~+150V） | 170 μm | 170 μm | ±20% |
分辨率2 | 3 nm | 3.0 nm | typ. |
线性度 | - | 0.05%F.S | typ. |
重复定位精度 | - | 10nm | typ. |
承载能力3 | 50 N | 50 N | Max. |
谐振频率（0g） | 1200 Hz | 1200 Hz | ±20% |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度4 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | - | - | |
外形尺寸（长×宽×高） | 150× 151× 79 mm | 150× 151× 79 mm | |
重量5 | 2200 g | 2200 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | |
推荐控制器 | PCS311S、PCS211S | ||
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）及16Bit控制器测得的数据。尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。欲了解更多信息，请与我们联系。
1.最大驱动电压为0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。
2. 分辨率为指实际最小移动步长,通过激光干涉仪测得的实际数据。
3.更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
4.更长的线缆长度请咨询。
5.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
