压电平移台 ∣ PS2L40-080U(升级款)
应用领域:显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术、光子、光纤定位
- 运动方向: X、Y 轴
- 标称行程: 80 x 80 μm(闭环)
- 外形尺寸: 40 ×40 × 22.5 mm
- 承载能力: 700g
咨询服务热线:
13162165677应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用领域:显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术、光子、光纤定位
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13162165677规格型号1 | PS2L40-080U | PS2L40-080U-S | 公差8 |
运动轴 | X、Y | X、Y | - |
集成传感器 | - | SGS | - |
标称行程范围2(@0~+120V) | 80 μm x 80 μm | 80 μm x 80 μm | ±10% |
最大行程范围2(@-20~+150V) | 110 μm x 110 μm | 110 μm x 110 μm | ±20% |
分辨率3 | 0.7 nm | 1.5 nm | typ. |
最小移动步长4 | 3.0 nm | 3.0 nm | typ. |
线性误差 | - | 0.05% | typ. |
重复定位精度(全行程) | - | 0.05% | typ. |
角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转) | 5 μrad | 5 μrad | typ. |
承载能力5 | 7 N | 7 N | Max. |
谐振频率(0g) | (X)400 Hz、(Y)350 Hz | (X)400 Hz、(Y)350 Hz | ±20% |
运动方向刚度 | 0.25 N/μm | 0.25 N/μm | ±20% |
运动方向推力/拉力 | 20N / 10N | 20N / 10N | ±20% |
驱动机构 | PZT | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | - | - | - |
外形尺寸(长×宽×高) | 40 ×40 × 22.5 mm | 40 ×40 × 22.5 mm | - |
重量7 | 180 g | 180 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - |
注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。