超精密加工平台 ∣ PU1H80-030U
本系列产品可实现纳米级精密切割/纳米微加工等领域。 具有高刚性，即使在重载下也可以稳定定位。广泛应用于精细切割和研磨、FTS 工作定位 、高负荷物体的精确定位、FTS快刀伺服车削系统
- 承载能力： X轴
- 结构形式： 30μm
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13162165677产品型号 | PU1H80-030U | PU1H80-030U-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | X | X | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 30 μm | 30 μm | ±10% | - | |
最大行程范围（@-20~+150V） | 40μm | 40 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 1 nm | 1 nm | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.1% F.S. | typ. | - | |
线性度 | - | 0.1% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 1 ms | 1.5 ms | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 50 N | 50 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | 3000 Hz | 3000 Hz | ±20% | Note 3 |
谐振频率 | 100g | 1900 Hz | 1900 Hz | ±20% | - |
运动方向刚度 | 10 N/μm | 10 N/μm | ±20% | - | |
运动方向推力/拉力 | 500 N / 200 N | 500 N / 200 N | ±20% | - | |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 80 ×90 ×35 mm | 80 ×90 ×35 mm | - | - | |
重量 | 1700 g | 1700 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
线缆长度 | 1.5m | 1.5m | ±10mm | - | |
本体材质 | 钢 | 钢 | - | - | |
