压电精瞄镜 ∣ PT2M30-500S~2000S
应用领域:图像处理/稳定,光学捕获,激光扫描/光束偏转,激光调谐,激光束稳定 满足:GJB150.4A-2009低温实验; 满足:GJB150.3A-2009高温实验; 满足:GJB150.16A-2009振动实验;
- 运动方向: θx、θy 轴
- 标称行程: 5.0 mrad(闭环)
- 外形尺寸: Φ25×56 mm
咨询服务热线:
13162165677应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用领域:图像处理/稳定,光学捕获,激光扫描/光束偏转,激光调谐,激光束稳定 满足:GJB150.4A-2009低温实验; 满足:GJB150.3A-2009高温实验; 满足:GJB150.16A-2009振动实验;
咨询服务热线:
13162165677规格型号1 | PT2M30 | 公差8 | ||||
500S-S | 1000S-S | 1300S-S | 1500S-S | 2000S-S | ||
运动轴 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - |
集成传感器 | SGS | SGS | SGS | SGS | SGS | - |
标称行程范围2 (@0~+120V) | 500”[Sec] ≈ 2.5 mrad | 1000”[Sec] ≈ 5 mrad | 1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad | 1500”[Sec] ≈ 7.5 mrad | 2000”[Sec] ≈ 10 mrad | ±10% |
最大行程范围2 (@-20~+150V) | 700”[Sec] ≈ 3.5 mrad | 1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad | 1900”[Sec] ≈ 9.5 mrad | 2000”[Sec] ≈ 10 mrad | 2700”[Sec] ≈ 13.5 mrad | ±20% |
分辨率3 | 0.02 μrad | 0.05 μrad | 0.06 μrad | 0.07 μrad | 0.1 μrad | typ. |
最小移动步长4 | 0.10 μrad | 0.20 μrad | 0.22 μrad | 0.25 μrad | 0.35 μrad | typ. |
线性误差 | 0.10 % | 0.15% | 0.2 % | 0.25 % | 0.25 % | typ. |
重复定位精度 | 0.02 % | 0.02 % | 0.02 % | 0.02 % | 0.02 % | typ. |
承载能力5 | Ø25mm镜片 | Ø25mm镜片 | Ø25mm镜片 | Ø25mm镜片 | Ø25mm镜片 | typ. |
谐振频率(0g) | 3700 Hz | 3500 Hz | 3300 Hz | 3200 Hz | 3100 Hz | ±20% |
驱动机构 | PZT | PZT | PZT | PZT | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
外形尺寸(直径×H) | 30×30×38 mm | 30×30×56 mm | 30×30×65 mm | 30×30×74 mm | 30×30×92 mm | - |
重量7 | 200 g | 250 g | 280 g | 300 g | 350 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | LEMO | LEMO | LEMO | - |
本体材质 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | - |
注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。